微纳加工实验室是北京大学校级开放平台之一,实验室于2008年初投入使用,地处理科2号楼天井,总面积1200平米,超净工作区面积380平米,二期扩建工程正在进行中。实验室配备电子束曝光、紫外光刻、镀膜、刻蚀以及光、电测量等基本微纳加工和测量必需公用设备,总资产近5000万元。
平台自建成以来,为各院系相关科研工作顺利开展,为北大相关的研究人员争取更多更大的国家项目创造条件等方面做出了积极贡献。平台支撑了课题发展,每年发表近百篇高质量论文,其中量子器件和碳基器件课题研究达到世界前沿水平,在同行领域中得到了认可和高度评价。
人员构成:
主 任:张志勇 教授 zyzhang@pku.edu.cn
主 任 工 程 师:岳双林 高工 shlyue@pku.edu.cn
成 员:潘华勇 副研究员 hypan@pku.edu.cn
董立军
高工 donglijun@pku.edu.cn
黄珏华 副教授 jay@pku.edu.cn
吴殿仲 技术员 wudianzhong2004@126.com
李腾飞 技术员 litengfei@pku.edu.cn
王知渊 技术员 1061530759@qq.com
孙 滢 秘书 sunying2596@163.com
胡 兰 保洁